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 [最新研究成果] EUVリソグラフィーを用いた70nmピッチCu/ポーラス低誘電率膜デュアルダマシン インテグレーションの基礎検討 |
2010年2月5日(金) |
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[イベント] Selete Symposium 2010を開催致します。 |
2010年1月27日(水) |
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[最新研究成果] La酸化物及びY酸化物キャッププロセスによるHfO2膜結晶構造の変化 |
2010年1月22日(金) |
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[最新研究成果] 希フッ酸溶液処理によるHf系高誘電率ゲート絶縁膜にドープした希土類酸化物のフッ化とそのMOS-FETプロセスへの影響 |
2010年1月22日(金) |
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Selete Symposium 2010 | 2010年1月27日(水) |
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EUVL Symposium2007が2007年10月２９日（月）〜31日（水）札幌コンベンションセンターにて開催されます。 | 2007年8月6日(月) |
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MIRAIプロジェクト・ホームページ内のM/Cネットページへのリンクを掲載いたしました。 | 2007年5月29日(火) |
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コーポレートロゴを変更しました。 | 2006年4月1日(土) |
Selete: Semiconductor Leading Edge Technologies